| |
|
| Технические
спецификации |
|
| Тип сенсора |
SiН4 , силан |
| Номер детали |
9602-6300 |
| Используется непосредственно для |
Si2H6, CH3SiH3 |
| Принцип измерения |
амперометрический 3-х электродный сенсор |
| Цвет колпачка сенсора |
светло-коричневый |
| Специфические характеристики сенсора |
Программируемое ПЗУ внутри сенсора |
| Стандартный диапазон |
0..50 ppm |
| Нижний предел детектирования (LDL) |
1 ppm |
| Максимальный диапазон |
100 ppm |
| МАК/TLV(ПДК) |
-/5 ppm |
| Ослабление чувствительности |
<5 %/6 месяцев |
| Отклонение от линейности (в пределах стандартного
диапазона) |
<10 % FS |
| Нулевой ток при нормальных условиях |
Меньше нижнего предела детектирования(LDL) |
| Чувствительность |
40..200 nА/ррm |
| Время реакции |
постоянное в пределах стандартного диапазона |
| t50 |
<10 сек.(на базе 2- мин.времени экспонирования) |
| t90 |
<30 сек.(на базе 2- мин.времени экспонирования) |
| Время прогревания сенсора |
5 сек. |
| Рабочие условия |
-20..+40°С; 20..95% отн.влажн., без конденсации |
| Условия хранения |
0.. +4°С; 40.. 60% отн.влажн., без конденсации |
| Разность температуры |
Компенсация с помощью микропроцессора |
| Срок службы сенсора |
2 года |
| Размеры сенсора |
|
| *Высота |
43 мм (1.69") |
| *Диаметр |
20.5 мм (0.80") |
| *Вес |
9 грамм (0.31 унции) |
Примечание:
Все приведенные величины реакции являются типичными значениями и относятся
к сенсору, используемому при нормальных условиях, т.е. при температуре 200С,
отн.влажности 40…60%, при нормальном давлении воздуха. |
